中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636549 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、半導体研究技術のプロセスを改善するために特別に設計された拡散炉およびアクセサリーです。この拡散炉は最高200kwの総熱予算および1300℃の最高装置の温度の高仕様、高性能の拡散炉です。プロセスの均一性、温度精度、制御性に優れ、実用性を重視しています。TEL ALPHA 8SZは、温度均一性と積載性を向上させるための水平スセプターと組み合わせた二重壁の炉を備えています。また、最大4つの同時処理が可能な広範な共処理機能を備えており、さまざまなプロセス制御システムと均一に維持され、互換性があります。この拡散炉の熱供給は、オプションのスライダブル炉、予殺プロトコル、およびシングルドアオプションを備えた効率的なポストマトリックスアッシングシステムと結合されています。この拡散炉の圧倒的な精度と冷凍能力は、マルチステップ可変駆動エンジンによって提供されます。この革新により、精度が向上し、プロセスの均一性が向上し、安定性と効率的な冷却および加熱速度が保証されます。また、ヒーター素子は2バンドギャップであり、モリブデン殺菌剤が並んでおり、より高い信頼性と高速なランピングを提供します。東京電子ALPHA 8 S-Zは、機械制御を向上させるマッピングユニットを内蔵し、ヒーラーや部品の保護を向上させる酸化保護ツールを備えています。この拡散炉の温度安定性は、真空シール資産と空気清浄機能によって向上し、空気中の汚染物質が室内に侵入するのを防ぎます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZの堅牢な制御システムは、ユーザーが正確にプロセスデータを監視および記録するのに役立ちます。直感的なグラフィックディスプレイと大型ディスクを備えており、簡単な検査、集中して均一なプロセス、およびエネルギーコストの節約を可能にします。さらに、インストールは、設置スペースとエネルギーコストの両方を削減し、最小限の運用セットアップのために設計されています。全体的に、ALPHA 8SZは多目的拡散炉であり、高精度で様々な機能と設備を提供し、半導体研究と技術に最適です。この拡散炉と付属品は、合理化されたプロセス、効率の向上、高度な信頼性を提供します。