中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z / 808S #9361886 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S-Z/ 808Sは、熱処理用に設計された拡散炉です。大容量、優れた均一性、優れた再現性、高スループットを提供する高性能、中規模から大規模炉装置です。このシステムは、ハロゲンランプを発熱体として利用しており、外部プリドライブユニットの必要性を排除しています。このユニットは、高温、高品質のプロセスのための革新的なソリューションを提供し、低温エピタキシャル、インターレベル誘電蒸着（ILD）、浅いトレンチ絶縁（STI）、および金属拡散など、さまざまな困難なプロセスに適しています。TEL Alpha 8S-Z/ 808Sには、1000°Cまでの高温ステップをプログラムする機能など、幅広いオプションが付属しています。また、最大4つのクォーツウェーハを収容することもできます。このマシンは、改良されたエアタービンポンプで最大5トーラーのプロセス圧力を提供します。独自のフィルタリング設計により、プロセス効率を最大化し、排気量を最小限に抑えます。また「、コールドウォール」機能を使用しており、動作中の均一な熱暖房が可能です。TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/ 808Sは、直感的なタッチスクリーンコントロールインターフェイス、高精度の位置駆動ツールなど、自動ロードや自動アンロード機能など、さまざまな便利な機能を備えています。このアセットには、平面セラミックヒーター、オプションの水晶モニター、およびその他のさまざまなオプションデバイスなどのいくつかのアクセサリーも含まれており、簡単なセットアップと使用が可能です。さらに、このモデルには、リモートメンテナンス機能やデバイスの交換、プロセスの納期短縮のための調整など、メンテナンスとサービスのためのいくつかのオプションが用意されています。全体として、Alpha 8S-Z/ 808Sは高度で革新的な拡散炉とアクセサリー機器です。優れたプロセス性能、高スループット、および低温および高温処理アプリケーションの両方に対応する汎用性の高いオプションを提供します。これは、厳しい熱処理の要件を持つユーザーに革新的なソリューションを提供し、さまざまな困難な熱処理に適しています。