中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z / 808S #293591594 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/ 808Sは、幅広い半導体アプリケーションに対応できるように設計された最先端の拡散炉およびアクセサリです。自動化された高精度なソリューションを提供するように設計されており、直径200mmまでの幅広い要素およびウエハサイズに適しています。TEL Alpha 8S-Z/ 808Sは、エピタキシャル蒸着、拡散、昇華、およびその他のプロセス用途に使用できる完全自動化された炉です。TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/ 808Sは、アルミナライニングを内蔵したシングルチャンバーのデュアルシェル石英反応チャンバーを採用し、熱性能を最大化しています。また、エネルギー効率に優れた低騒音の空冷ファンとインラインヒーターを備えており、正確な温度制御が可能です。さらに、高効率オゾン発生器、リアルタイム温度測定装置、専用のソフトウェア制御を備えており、温度に敏感なプロセスに最適です。Alpha 8S-Z/ 808Sは、最大48個のレシピを保存できる完全にプログラム可能なレシピシステムを備えており、ユーザーは以前の使用に簡単にアクセスして複製することができます。また、温度および時間サイクルを正確に調整して最適な性能を得ることができる高度な加熱制御ユニットを備えています。これは、ユーザーがプロセス要件に基づいて工場出荷時の設定を調整できるようにするカスタム構成設定によってさらに強化することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/ 808Sはメンテナンスフリーで操作しやすい設計となっています。このチャンバーは取り外し可能なグラファイトボートを備えており、残留物の蓄積を減らし、クレードルなしでの積載を容易にします。また、TEL Alpha 8S-Z/ 808Sの標準安全機能には、圧力リリーフバルブ、シャッターなど、事故のリスクを最小限に抑え、できるだけ安全な運転を実現する機能があります。TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/ 808Sは、さまざまなプロセス用途に適した信頼性と強力な拡散炉です。統合された高効率オゾン発生器、高度な加熱制御機、カスタマイズ可能な構成設定により、高精度プロセスに最適です。低雑音の空冷ファンとインラインヒーターは、エネルギー効率の高い性能を実現し、高品質のチャンバーライニングにより、熱性能を最大化します。使いやすさと専用のソフトウェア制御のおかげで、Alpha 8S-Z/ 808Sは半導体製造に最適です。