中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S / A-808SD #86160 を販売中

ID: 86160
Furnaces for N2 anneal.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S/ A-808SDは、堅牢で再現性のある拡散処理を行うために設計された拡散炉とアクセサリーです。この拡散炉は、望ましいデバイス特性を得るために基板を迅速かつ再現的に処理するために設計されています。TEL Alpha 8S/ A-808SDには、直径200mmまでの基板に対応するように設計された大径ダブルゾーン加熱チャンバーが装備されています。二重地帯の暖房部屋は均一な温度の配分を保障し、一貫した、反復可能な拡散の処置を可能にします。この拡散炉は軽量で耐久性のある複合材料で構成されており、タッチパネルとジョイスティック制御を備えた直感的なユーザーインターフェースを備えています。このシステムは、熱およびガスの分布を最適化することにより、単層および多層の薄膜およびSOI構造を成長させるように設計されています。TOKYO ELECTRON Alpha 8S/ A-808SDには、クォーツサンプルホルダー、プロセスガス注入ポート、コールドウォールローディングステーション、ガススカプラ、クォーツトップローダーなどの拡散処理を拡張するために設計されたアクセサリーが付属しています。Alpha 8S/ A-808SDの加熱時の消費電力は、他の拡散炉と比較して低いため、実行および維持が経済的です。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S/ A-808SDは、ISO 9000の品質保証のために検証され、信頼性と再現性の高い結果を保証します。この拡散炉は、広範な専門家チームによって支えられており、包括的な技術および修理サービスを提供しています。TEL Alpha 8S/ A-808SDは、高品質で高性能なアプリケーションを製造するための理想的な選択肢です。
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