中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 85-Z #9361889 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 85-Zは、集積回路などの電子部品を製造するために設計された拡散炉です。この拡散炉は、パルス光発光と反応イオンエッチングの3つの技術を組み合わせた独自の設計により、高いスループットと正確なプロセス制御を可能にします。さらに、TEL ALPHA 85Zは優れた環境保護と効率的な運用を提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Zは、各ゾーンの温度制御を一体化したフルサイズの4ゾーン拡散炉です。光放射とエッチングのプロセスを正確にチューニングできる高度な光学系を備えています。温度は、各ゾーンで制御することができ、石英で作られた発熱体と外部温度を偏向統合ヒートシールドによって維持されます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Zは、炉の温度を常に監視し、変化に迅速に対応できる温度制御装置を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85Zには、パスワード保護、制限時間、アクセスアラームなど、さまざまな安全機能を備えた高度なコンピュータ化アクセス制御システムが搭載されています。また、グローバルネットワーク上の任意の場所からリモートアクセスできるため、ユーザーは炉を監視して変更することができます。さらに、TEL Alpha 85-Zは、さまざまなレベルの異なる元素の同時エッチングと拡散を容易にするために、幅広い材料、化学物質、ガスなどの幅広いオプションを備えています。Alpha 85-Zは、効率的かつ正確な操作を保証するために、包括的なプロセス制御および監視ソフトウェアを備えています。このプログラムは、電力制御、温度調整、さまざまなプロセスのタイミングなど、炉のリアルタイム分析と診断を提供します。このソフトウェアには、ユーザーが結果を保存、追跡、レポートすることができる記録保持およびログのメンテナンス機能も内蔵されています。ALPHA 85 Zは、集積回路やその他の電子部品の迅速な生産のための優れた温度、精度、および制御を提供する信頼性の高い高性能拡散炉です。必要に応じてリモートアクセス、複数のゾーン、および材料固有の構成を可能にする高度な制御マシンを備えています。最小限の中断で継続的に実行できるように設計されており、包括的なカスタマーサポートツールによってサポートされています。