中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 85-Z #293806756 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 85-Zは、TEL製の先進拡散炉と付属品です。TEL ALPHA 85Zは、100°Cから1100°Cの温度範囲で、正確な温度制御を提供するように設計されています。これは、高出力の誘導加熱素子、セラミックるつぼ、微細な温度調整、および炉の2つの電気ゾーンのそれぞれの温度を独立して制御するためのポテンショスタットなど、慎重に設計されたコンポーネントの組み合わせによって達成されます。また、85-Zは特許取得済みの独自の水晶ベースのフルレンジのサーマルモニターを搭載しており、正確な温度調節が可能です。この装置はまた、プロセス全体を最初から最後まで制御するためのホットゾーン監視システムを備えています。ホットゾーン監視ユニットは、クリーンな作業環境を確保するのに役立つ堅牢な破片収集フィルタを備えています。東京エレクトロンアルファ85Zの特徴は、炉内環境における酸素の部分的な圧力を低減するための真空装置を採用し、拡散プロセスを強化することです。このツールは排気フィルターも備えており、ほこりやその他の不要な粒子が大気中に入るのを最小限に抑えるのに役立ちます。炉自体は腐食および熱発生摩耗に対して抵抗力がある高級なアルミ合金からなされます。東京電機アルファ85-Z拡散炉には、アクセサリーのシリーズも含まれています。これらのアクセサリーには、炉の特定の領域にわたって温度を正確に制御するための鋼製のピンポイント源が含まれています。また、より広い領域に広がる熱を制御するためのグラファイトサセプターも含まれています。さらに、熱応力を最小限に抑え、拡散プロセス中の酸化を制御するための炉ライナーが含まれています。これは拡散プロセスの均一性を高めるのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Zには、炉自体に加え、パワフルなオンボードPCも搭載。このPCは、資産のコントロールセンターであり、炉を操作するだけでなく、個々のコンポーネントを監視し、調整することができます。これにより、非常に効率的でエラーのない操作が保証されます。結論として、Alpha 85-Zは、正確な温度制御と効率的な拡散を提供できる強力で高度な拡散炉です。拡散プロセスを強化および制御するための一連のアクセサリと、正確な操作のためのオンボードPCが含まれています。これにより、TEL ALPHA 85 Zは半導体製造の高度な拡散アプリケーションに最適です。