中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 85-Z #293648856 を販売中

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ID: 293648856
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2000
Furnace, 6" Gas unit Gases: N2, O2, H2, HCI 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 85-Zは、精密エンジニアリングと信頼性の高い操作を提供する先進的な拡散炉およびアクセサリー装置です。このシステムは、超高速で大面積のプロセス制御を提供するように設計されており、多様な用途に対応する高性能で精密な部品を製造することができます。TEL ALPHA 85Zユニットには、医療、航空宇宙、自動車用途に人気のあるいくつかの機能があります。まず、材料を1450°Cまで超高速で加熱することができます。第二に、ウエハー、バー、プレートなどの大型基板を生産を抑えずに加工することができるプロセス制御の広い領域を有しています。さらに、高度なガス分配機により、処理室全体に均一なガスの流れが生じます。TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Zツールには、多くの先進的なアクセサリーも含まれています。例えば、高出力の熱分解ガス源を備えており、均一なガスの流れを確保し、加工後に素早く材料を冷却するための高速冷却資産、およびプロセスを監視しやすい炉の窓を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85Zは、幅広いマテリアルハンドリングオプションと、さまざまな特殊部品・装置を提供しています。例えば、自動マテリアルハンドリングシステムや自動化された測定/制御装置を装着することで、均一で正確な結果を得ることができます。真空チャンバーなどの特殊部品は、ユーザーの好みに応じてカスタマイズすることもできます。また、TEL ALPHA 85 Zモデルは、現行の安全規制に適合するように構成されており、緊急時には警報装置を設置して人員に警告しています。全体的に、Alpha 85-Zは精密工学、信頼できる操作および有効な処理を提供する高度の拡散炉およびaccessorieシステムです。その機能は、自動車、航空宇宙、医療用途に最適であり、高性能で信頼性の高い部品に最適です。
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