中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092859 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ81-ZV拡散炉は、一体化されたデバイス処理に使用されるシングルバス、垂直炉です。最大1,100°Cのプロセスを誇り、最大6個のウェーハを収容できます。メインフレーム、ガスライン、上側水平ヒートシールド、下側水平ヒートシールド、サセプター、ウェハボートで構成されています。本体はステンレス製で、高純度の窒素パージガス排気システムを搭載しています。また、小さなガスシリンダーの場所、石英ガラス窓とシャッターが含まれています。ガスラインはあらゆる種類のプロセスのための反応部屋に窒素、水素または水素のハロゲン化物を提供します。上下水平ヒートシールドは反応室を形成し、断熱用の高級アルミナセラミック材料でできています。サセプターは円筒形の高温水晶ガラスで、直径は8インチ（203 mm）です。ウェーハボートは、直径100mmのウェーハを最大6個まで保持できるように設計されています。ボートは水晶材料から成り、ガスがボートを通して反作用の部屋に入ることができるように作り付けのチャネルを与えられます。温度やその他の設定を監視・制御できるタッチスクリーンカラーモニターを搭載しています。プロセスレシピを炉に簡単にロードできるレシピプログラム機能もあります。また、様々なデバイスのニーズに対応するために、酸化/窒化機（高速酸化、急速窒化、低温窒化、スロット酸化など）を備えています。プロセスチャンバーには排気ファンも用意されており、安定した圧力を維持し、安全で清潔な雰囲気を確保します。最後に、TEL Alpha 81-ZVの設計にはさまざまな安全機能が組み込まれており、停電時の炉の安全運転を再実行し、警報音に加えています。結論として、東京電機アルファ81-ZV拡散炉は、高効率でコスト効率の高い統合デバイス処理ツールとして、包括的な機能を提供しています。他の拡散炉システムにはない安全性と利便性を兼ね備えています。