中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN #9092857 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZANは、半導体加工に使用される高性能な拡散炉とアクセサリーセットです。サーマルサイクリングオプションを備えた洗練されたマルチゾーン温度制御を備えており、超高歩留まりと最高品質出力の精密プロセスパラメータを可能にします。TEL Alpha 81-ZANの精度により、層移動、高温酸化プロセス、窒化物処理、蒸着プロセスなどのプロセスを一貫して高効率で行うことができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZANには、指向性タイプの多室式真空拡散炉と、各種拡散プロセスを準備・制御するための一連のツールを提供するハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントの機器が含まれています。プロセス部屋は高級なステンレス鋼と組み立てられ、異なった拡散率を可能にする2つの独立した温度帯が付いている暖房コイルシステムを含んでいます。高度なケルビンベースの温度制御ユニットは、より高い精度と再現性のためのプロセスパラメータの調節を可能にします。このマシンには自動ツールコントローラ（ASC）も搭載されており、電力レベルと温度制御設定を継続的に監視できます。ASCはまた、ユーザーが過去のデータログにアクセスできるRS485のリモート診断機能を搭載し、プロセスの最適化とトラブルシューティングを実行します。また、VPECD （Variable Pressure Emission Control Device）を搭載しており、幅広い用途に対応したプロセスチャンバー内で正確な圧力を作成できます。安全性と長期的な信頼性のために、Alpha 81-ZANには温度安全モニターとガスの流れを制御するためのインターロックモデルが装備されています。メンテナンスとダウンタイムを削減するために、人間工学に基づいて最適化されたハウジングと、簡単な監視と診断のための統合されたLEDディスプレイで設計されています。また、クォーツチューブ、キャップ、クーラーなどのサンプルホールド用品も付属しています。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZANは、最高水準の半導体加工能力を備えた先進的な拡散炉とアクセサリーセットです。これは、優れた温度制御と正確なプロセスパラメータ、ならびにシステムの監視と最適化に必要なハードウェアおよびソフトウェアツールを可能にする多数の機能を提供します。安全性と信頼性を兼ね備えたTEL Alpha 81-ZANは、テクノロジーおよびエレクトロニクス業界における幅広い要求の厳しいアプリケーションに最適です。