中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092856 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAは、半導体基板を処理するための強力なオールインワン装置である拡散炉とその付属品です。このシステムは、低温酸化、高温酸化物の増殖、低温ドーパント堆積、高温蒸着イオン注入を行うことができます。人間工学に基づいて設計された制御ステーションを備えており、ユーザーフレンドリーなソフトウェアと、ユーザーからの最小限の労力でバッチからシングルウェーハ負荷までのプロセスを実行できる機能を備えています。単位の暖房源である炉の部屋は鉄骨フレームに取付けられ、制御された水晶内部はさみ金およびアルミニウムの2つの半分から成っている外の貝があります。上部が平らな円筒形で、最大16個のウエハを収容できます。炉の部屋は部屋の上から中断され、高周波電源によって運転される一連のタングステンコイルによって熱されます。コイルは維持および取り替えのために自動的に取除かれます。チャンバーの温度は、炉コントローラ、コイルに接続された制御機によって制御され、検出器、温度補償器、およびオーブンコントローラから受け取った信号を熱電対ゲージから得られる所望の温度に変換します。炉のコントローラーは処理の各ステップのための異なったプロフィールとプログラムすることができます。さらに、炉のコントローラーには、インターロック、アラーム、警告などの安全性とセキュリティ機能が装備されています。このツールには、チャンバーに接続された排気バルブ資産が含まれており、空気の流れを測定するためのファン駆動流量計が装備されています。排気弁は炉の内部の高温から環境を保ち、排出されるガスの量を制限することによって汚染を防ぐのに役立ちます。TEL Alpha 81-ZAには、チャンバーと全自動ポンプ装置に接続された液体冷媒モデルも含まれています。炉の部屋の中に、温度および圧力読取りのためのガス満たされた管があります。冷媒はチャンバーを冷却し、温度を変更する必要があるときに迅速な回復時間を可能にします。TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAは、半導体業界において効率的かつ費用対効果の高いソリューションとして設計されており、要求の厳しいアプリケーションに対して多用途かつ正確な処理能力を提供します。人間工学に基づいて最適化された制御システム、シンプルなユーザーインターフェイス、豊富な高度な機能を備えたAlpha 81-ZAは、処理能力を高めるために探しているあらゆるラボに最適です。