中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092855 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA
ID: 9092855
ウェーハサイズ: 8"
Furnace, 8" Process capability: Pyro Zones: 5 Process gases: N2, H2, O2, DCE Controller model: TS4000 Accessories: Atmospheric system, loadsize, 100, VMU heater CE mark: Yes.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAは、半導体ウェーハの製造工程で使用される高度な拡散炉と特殊なアクセサリーです。この拡散炉は、低圧化学蒸着(LPCVD)技術を利用して、特別に構築されたチャンバーと発熱体を使用して、ウェーハの表面にシリコンの変動を導入します。Alpha 81-ZEは、単一のチャンバー、発熱体、真空システム、およびさまざまな制御および電源で構成されています。単一の部屋は円筒形の設計があり、汚染を防ぐために特別な内部のライニングが付いているステンレス鋼から成っています。チャンバーは、高周波誘導プロセスを使用した誘導タイプの発熱体によって加熱されます。この誘導タイプの発熱体は、拡散プロセスを正確に制御するために、600°Cから1300°Cまでの調節可能な温度範囲を備えています。TEL Alpha 81-ZAは、拡散プロセスに必要なチャンバーへのさまざまなガスの導入を制御する真空システムによって動作します。真空システムはまた、最適な結果を得るために特定のレベルに保たなければならないチャンバーの圧力を制御します。さらに、さまざまな制御ユニットと電源を使用して、必要に応じて拡散プロセスを密接に監視および調整します。高品質な出力を確保するために、東京エレクトロンアルファ81-ZAには様々な安全対策が施されています。これには、温度センサ、圧力センサ、および安全な状態を確保するための過圧および真空バルブが含まれます。Alpha 81-ZAには、拡散プロセスが常に監視され、制御されるようにするための冗長制御も含まれています。追加ボーナスとして、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAには、パフォーマンスを強化しカスタマイズする専用アクセサリーも用意されています。これらのアクセサリーには、空気清浄用アクセサリー、予防メンテナンス、スペアパーツ、製作ツール、測定および分析機器が含まれます。これらの各アクセサリは、TEL Alpha 81-ZAが最適なレベルで機能し、高品質の半導体ウェーハを製造することを保証します。東京エレクトロンアルファ81-ZAは、半導体ウェーハの製造過程で使用される高度な拡散炉と特殊なアクセサリーです。この拡散炉は、低圧化学蒸着(LPCVD)技術を利用しており、さまざまな制御、電源、安全対策、および特殊アクセサリーを備えています。この炉とそれが提供する多くのアクセサリーは、半導体ウェーハ製造プロセスに効果的で信頼性の高いソリューションを提供します。
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