中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092848 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA
ID: 9092848
ウェーハサイズ: 8"
Furnace, 8" Process capability: Pyro Zones: 5 Process gases: N2, H2, O2, DCE Controller model: TS4000 Accessories: Atmospheric system, loadsize, 100, VMU heater CE mark: Yes.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAは、単結晶シリコン(Si)などの高純度半導体材料をマイクロエレクトロニクス部品に使用するために設計された最先端の拡散炉およびアクセサリーです。高速かつ効果的なマイクロマネージメントモジュール、超高解像度イメージングシステム、極端な温度安定性などの先端技術を駆使した高性能機器です。プロセス制御モジュールとしても知られる高速かつ効果的なマイクロマネジメントモジュールにより、プロセスエンジニアは炉の温度および圧力パラメータ全体を正確にプログラムおよび管理できます。このモジュールは、炉プロセスのすべてのパラメータと条件を厳密に監視するだけでなく、リアルタイムで問題を迅速かつ簡単に診断、評価、修正することも可能です。デバイス内に設置された超高解像度イメージングユニットは、0。1ミクロン(1/100ミリメートル)の部品を詳細に測定することができます。極度な温度安定性はさらに炉の性能を補強します;それは10から2000の摂氏温度の間の温度のために正確、一貫しています。TEL Alpha 81-ZA拡散炉は、ドア、フロントアクセスパネル、安全扉などのコンポーネントがすべて機械の下部に配置されていることを人間工学的に設計しています。これにより、デバイスの内部に簡単にアクセスできます。さらに、拡散炉の内部での効率的なスペース利用により、より高速で精度の高い部品や部品の充填が可能になります。拡散プロセスが簡単に自動化されていることも注目に値します。TEL/Tokyo Alpha Seriesソフトウェアを使用すると、最大16個のレシピをメモリバンクに保存して素早く参照・修正できます。これにより、高度な半導体デバイスの設計と製造をサポートするプロセスレシピを簡単に開発できます。最後に、東京エレクトロンアルファ81-ZA拡散炉は、詳細な監視と自動化の両方の安全対策の広い範囲で認定されています。これにより、このツールは安全に使用でき、半導体材料を生産するための快適で安全な環境を提供します。要約すると、Alpha 81-ZAは、精度、精度、プロフェッショナリズム、安全性を念頭に設計された高度で信頼性の高い拡散炉とアクセサリーです。超高解像度、温度安定性、自動化されたプロセス制御などのハイテク機能を、業界標準の要件を満たす1つの包括的な資産に組み合わせることで、最新の半導体デバイス生産に最適なソリューションとなります。
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