中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092846 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAは、ドーパントや温度プロファイルを精密に制御するための拡散炉およびアクセサリーです。この拡散炉は、最大1050°Cのプロセス温度を実現し、マルチゾーンと高速ランプの両方を備え、均一性を向上させます。また、プロセスの均一性とプロセスの柔軟性を向上させる熱分解技術も備えています。TEL Alpha 81-ZA装置は、炉ゾーンとコントローラ、多数のアクセサリーで構成されています。炉ゾーンは、垂直水晶チューブ（またはチューブボート）とアルミナトップローディングハースで構成されています。これにより、水平対流冷却が容易になり、均一性と迅速な処理が可能になります。この炉には石英ライナーとアスベスト断熱材が装備されており、プロセスの効率と安全性を向上させています。システムコントローラは、大きなグラフィカルアイコンでユーザーフレンドリーで、メニューやプロセスをユーザーに導きます。これにより、圧力、温度、加熱速度などの機能を正確に制御できます。コントローラには、正確なセンサーと熱電対プローブが装備されており、正確な温度測定と制御を保証します。TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAユニットには、効率的かつ正確な処理を容易にするための他のアクセサリーも多数付属しています。プッシュフットリフター、クォーツるつぼ、ウェーハキャリア、拡散ベル瓶、スペーシングバー、真空ポート、水冷電極などがあります。これらのすべては、安全で効率的な拡散プロセスを提供するために協力しています。全体的に、Alpha 81-ZAは正確に制御された処理のための高度な拡散炉および付属品機械です。それは複数の地帯の正確さおよび優秀なプロセス均一性の1050°Cまで温度を提供します。ユーザーフレンドリーなコントローラーや各種アクセサリーも、正確な制御、利便性、安全性を提供します。このツールは、精密な熱電蒸着を必要とするアプリケーションに最適です。