中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SN #9083660 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SN Diffusion Furnace&Accessorieは、半導体チップなどのシリコン製品の製造に使用される制御熱及び化学プロセスを備えた完全自動半導体製造ツールです。TEL Alpha 808SNは、TELの最新モデルであり、あらゆる生産環境に適した幅広い機能とデザインの強化を備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SNは、高温チャンバーと3つの独立したプロセスオーブンを備えており、それぞれに熱酸化、不純物ドーピング、リン・ドーピングなどのプロセス成分を配合しています。高度な制御装置は、温度、流量、圧力、およびその他のプロセスパラメータを監視し、一貫した再現性のある歩留まりを確保するように設計されています。それは各プロセスのためのさまざまなレシピをサポートし、カスタム生産ニーズのためのレシピをカスタマイズする機能を持っています。Alpha 808SNには、ユニークな2段の急速冷却システムも含まれており、チャンバーとプロセスオーブンを急速に冷却して粒子の汚染と均一性の問題を軽減することができます。また、2段ユニットはエネルギー消費を低減し、予熱およびサイクル停止後に温度を目標に迅速に回復することができます。このマシンは、スループットと信頼性を向上させることができます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SNは、3相、低リップル、DC電源を内蔵し、各プロセスに最適な電力を供給するインテリジェントな電源供給ツールを備えています。この効率的な電力供給により、熱応力を最小限に抑え、温度安定性と均一性を向上させます。TEL Alpha 808SNには、プロセスオーブン内の圧力レベルを最適化し、安全な環境を確保する圧力制御アセットも内蔵しています。このモデルは、チャンバー内の制御された雰囲気を維持し、ガス漏れを効果的に排除し、プロセスの歩留まりを改善します。最後に、東京エレクトロンアルファ808SNは、ウェーハの搬送と積載を容易にする自動コンベア装置も備えています。このシステムはオペレータの相互作用を最小限に抑え、効率を高め、生産のダウンタイムを減らすように設計されています。コンベアユニットはまた、ウェーハをプロセスオーブンに正確に配置することを保証します。結論として、Alpha 808SN Diffusion Furnace&Accessorieは高度で信頼性の高い半導体生産ツールです。精密なプロセス制御、急速冷却、効率的な電力供給、圧力制御、自動化されたコンベアマシンを可能にする機能を備えており、すべてが効率と信頼性の高い生産結果に貢献します。