中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE #9083661 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE
ID: 9083661
Vertical LPCVD Process: SiO, SiN.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ808SE拡散炉は、高性能半導体の製造を目指すラボ向けの画期的なツールです。強力な駆動制御技術により、正確で正確なウェーハ処理が可能です。ウェーハ拡散のための大型チャンバーサイズと各種先進冷却機能を備えています。真空脱ガスチャンバーは、効率的なサーマルアニーリングのために最適なパージ条件が維持されることを保証します。TEL Alpha 808SE拡散炉は、8 x 8 mmから8 x 12インチまで、さまざまなウエハサイズに対応しています。消費電力が低く、スループット率が高いため、効率的かつ効率的なワークフローを提供します。自動チャンバー圧力制御により、さまざまな負荷の間の相違がなくなります。また、内蔵の炉の安全システムにより、停電やその他の予期しない状況でも安全性が確保されます。東京電機アルファ808SE拡散炉は、高解像度イメージングシステムを一体化し、リアルタイムで拡散プロセスを監視することができます。画像処理機能を使用して、ユーザーは化学濃度の変化を検出して正確かつ正確な拡散を保証することができます。Alpha 808SEには、拡散プロセスをさらに最適化するための追加のアクセサリーも含まれています。Papperler Turboの水晶ガラス浮遊ボートは拡散段階の間により速い冷却およびよりクリーンな均一性を提供します。オプションのロータリーエンドキャップデバイスは、ガス入力とチャンバー圧力を正確に制御することで、プロセスの歩留まりを向上させます。オプションのシールド蓋は、大気からの水分汚染を防止することにより、各ウェーハの安全性をさらに高めます。808SEのパワーと多数のオプションアクセサリーを活用することで、ユーザーはウェーハ製作において最適な結果を得ることができます。その高度な機能とツールにより、ユーザーは最も要求の厳しい半導体アプリケーションの要件を超えることができます。
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