中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9395109 を販売中
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ID: 9395109
ウェーハサイズ: 8"
Vertical diffusion furnace, 8"
Power controller
Gas cabinet main body.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SDは、高精度で均一なウエハ加工が可能な拡散炉・アクセサリーパッケージです。半導体、ディスプレイ、その他の電気部品の製造に使用されることが多い。TEL Alpha 808SDは、高度なマルチゾーン拡散プロセス制御技術を採用し、正確な結果を保証します。機械の8ゾーン機能は、炉の各ゾーンを個別に個別に加熱することができ、各ワーク間で正確で均一でない加熱を提供します。東京電子ALPHA 808 SDの広範な温度範囲により、リソグラフィ、イオンインプラントなどの動作温度範囲をオペレータが選択できます。Alpha 808SDは低温と中温の両方のプロセス化学製品で動作し、5つの異なる速度モードを備えた高出力の換気システムが付属しています。8つの独立した窒化物オーブンは、迅速で均一な回収時間と正確なウェーハ温度制御を提供します。また、デュアルカセット、ダブルデッキのローディングおよびアンロード機能、および生産性と信頼性を向上させる独自のテールエンドトランスファーチャンバーも備えています。統合された冷却システムは、加熱されたガスが迅速かつ効率的に引き出されることを保証し、化学物質の汚染や蓄積を防ぎます。このマシンはまた、統合されたデータロギング機能と、すべての主要な機能をカバーする最近のプログラミング更新を提供しています。ALPHA 808 SDには、バッチ処理、大規模なバッチ、夜間のバッチ実行をサポートするツールとホスティングオプションの完全なセットが付属しています。長寿命の石英チャンバーを搭載したTEL ALPHA 808 SDは、長寿命でダウンタイムを最小限に抑えます。多くのユーザーはまた、パッケージはまた、カスタマイズのための優れたサポートを提供することに注意してください。いずれも、ハイエンド拡散炉のニーズにおいて、TOKYO ELECTRON Alpha 808SDトップオプションとなっています。
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