中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097860 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SDは、半導体製造の用途向けに設計された拡散炉およびアクセサリーです。エピタキシャルシリコン層の高品質成長が可能で、薄膜トランジスタ(TFT)の作成などの用途に適しています。TEL Alpha 808SDは、急速な熱転移と温度精度を確保するため、高効率、高速加熱素子を搭載しています。それは1280°Cまでの温度で長期安定した操作が可能であり、高度の冷却装置は適切な温度管理および配分を保障します。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDは、垂直方向のガス分配システムも備えています。このユニットはガスの流れを正確に制御し、正確なエピタキシャル成長のためのガスの均一な分散を可能にします。拡散炉の内部には、エピタキシャル層の効率的で正確な均一性を保証する充電変調結晶(CMC)レギュレーションマシンが装備されています。Alpha 808SDの微細な安全設計は、高度なセンサーを統合して、温度異常、ガス漏れ、異常温度やガス漏れなどの潜在的な安全上の危険性などの異常を検出します。TOKYO ELECTRON Alpha 808SDには、安全機能に加えて、潜在的な脅威を防ぐための追加の保護フレームも含まれています。ALPHA 808 SDは、直径200mmまでのウェーハに対応し、他のTELプロセス機器との相互運用も可能です。堅牢なソフトウェアパッケージが付属しており、簡単で直感的な制御が可能です。このパッケージは幅広い統合オプションを提供し、炉の迅速なセットアップと制御を可能にし、スケジュールされたメンテナンスや手動操作モードなどのさまざまな便利な機能を備えています。要するに、TEL ALPHA 808 SDは、半導体デバイス製造に使用するために設計された、信頼性の高い、効率的な拡散炉とアクセサリです。その高度な安全機能と温度制御により、長期的で一貫した動作が保証されます。また、幅広い統合オプションと直感的なソフトウェアインターフェイスにより、制御が容易になります。
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