中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097854 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD
ID: 9097854
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Pyro oxide furnace, 8", 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SDは、優れたデバイス性能と信頼性を提供する高度な拡散炉とアクセサリです。この拡散炉はシングルモジュールの設計を特徴とし、オールインワン電源、火力、制御装置を備えており、製造業者は容易に施設に統合することができます。TEL Alpha 808SDは2つのモジュールで構成されたデュアルビルディングシステムを備えており、最初のモジュールは加熱速度、温度の均一性、熱均一性を制御し、2番目のモジュールはレシピベースの操作を実行する責任があります。東京電子ALPHA 808 SDは、二重サイドウォールと内部スペーサー加熱を備えた水平負荷型ドーム型の炉を採用し、熱均一性と再現性を向上させています。高性能な赤外線加熱ユニットと電気洗浄機を採用しています。ドーム形状のため、この炉はウェーハ加工用に30〜1000°Cの広い温度範囲を維持することができます。この炉には、環境の変動から保護するためにクローズドループ温度コントローラを備えた二重ヒートシールドが内蔵されています。この拡散炉は、最大直径8インチのさまざまなウェーハサイズにも対応でき、同時に最大30個のウェーハを処理できます。Alpha 808SDには最大10のプログラム可能なレシピが含まれており、ユーザーは熱処理技術を簡単にカスタマイズできます。また、炉内の温度勾配や変動を正確に制御することができ、均一な制御により片方から他方への変動を最小限に抑えることができます。TEL ALPHA 808 SDは国際的な安全基準を満たすように設計および設計されており、炉にはインターロックツール、過熱検出器、緊急警報装置、最適な安全のための自動シャットダウンなどの包括的な保護機能も装備されています。その高度な設計には、損失を最小限に抑え、エネルギー消費を削減する断熱材も含まれています。TOKYO ELECTRON Alpha 808SDは、パワフルで信頼性の高い拡散炉とアクセサリーであり、生産歩留まり、再現性、プロセス信頼性の向上を求めるメーカーに最適です。
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