中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097849 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ808SDは、ウエハ製造の高品質加工に使用される拡散炉およびアクセサリーです。拡散炉の一体型コントローラと高速データ通信装置により、機械交換なしで最大8ウェハの処理が可能です。これにより、信頼性の高い半導体の性能に不可欠なクリーンで均質な表面構造を持つ精密なウェーハを製造することができます。TELアルファ808SD拡散炉は、低密度の石英ガラス管室内を移動する水晶管を利用しています。これにより、チューブを他の拡散加工モデルよりも急速に加熱・冷却することができ、処理時間が短縮され、収率が向上します。チャンバーは高圧窒素でパージされ、低温を維持し、内部のウェーハを汚染から保護します。東京電子ALPHA 808 SDは、バックサイドヒ素（BSA）プロセスの自動3方向作成を可能にするガス供給ユニットを備えており、プロセスを超精密に制御することができます。この拡散炉には、化学的水素酸化蒸着（CHOD）プロセスも備えており、品質を維持しながらプロセス時間を最大3/4短縮することができます。ALPHA 808 SDはロードロック転送も備えており、ウェーハの露出と汚染を最小限に抑えることができます。集積クロック回路は、Si-IGBT （Semiconductor Insulated Gate Bipolar Transistor）コントローラとの通信に高速I/Oポートを提供します。これにより、プロセスパラメータの正確で微調整された制御が可能になり、高品質のウェーハを製造するのに不可欠です。TEL ALPHA 808 SDは、極めて信頼性の高い効率的な拡散炉で、無駄を最小限に抑えた高品質のウェーハを製造できます。統合されたコントローラと高速データ通信機は、機械的な交換なしで一貫した処理を提供し、CHODプロセスは処理時間を短くして高い収率をもたらします。ロードロック転送により、ウェハの汚染を最小限に抑え、クロック回路を内蔵することで、プロセスパラメータを正確に制御できます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDでは、信頼性の高い効率的な拡散炉を半導体メーカーに保証します。