中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083543 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SD(大気/変調/アクセサリー付き高温拡散炉)は、リンやホウ素拡散などの高精度・高温加工用途向けのオールインワンバッチ拡散炉です。TEL Alpha 808SDの高度な設計により、作業エリア全体にわたって高い熱安定性と均一性を確保し、正確で正確なプロセス制御を可能にします。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDは、堅牢で信頼性の高い誘導加熱システムを備えており、80℃周囲から最大1,200℃までの幅広い温度範囲で最大30kWの電力を提供します。また、高精度な温度測定・制御のための光学ピロメータや、外部モニターを備えたプロセスコントロールコンピュータを採用し、無人運転を明確にしています。炉は、密閉された絶縁された壁を備えた安全な作業環境を確保するように設計されており、プロセス温度をチャンバー内に閉じ込め、外部汚染や熱損失を防ぐことができます。過熱制御、過電圧制御、インターロックなどの複数の安全保護システムを備えており、誤った状態を検出します。また、N2、 H2、 He、 O2、 Arなどの幅広いプロセスガスにも対応しています。TOKYO ELECTRON Alpha 808SDはユーザーフレンドリーなインターフェースと直感的なグラフィカルコントロールパネルを備え、操作が簡単に行えるように設計されています。プロセスレシピメモリを内蔵しており、迅速かつ正確なプロセスセットアップが可能です。さらに、カーホルダー、冷却システム、取り扱い機器、保護画面など、複数の周辺機器が利用可能です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDは、信頼性の高い高温拡散炉システムに最適です。堅牢で信頼性の高い技術を使用して、正確で再現性のあるプロセス制御と安全で安全な作業環境を確保します。使いやすい操作性と直感的なコントロールパネルにより、操作と管理が簡単になり、アクセサリの範囲が広いアプリケーションに最適です。
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