中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083542 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SDは、現代の半導体製造プロセスの厳しい要求に応えるために設計された、最先端の高速拡散炉とアクセサリ装置です。現在市場で入手可能な最も信頼性が高く、汎用性の高い拡散システムの1つです。TEL Alpha 808SDは、安定した構造と高度な熱制御技術を備えており、サイクル全体にわたって一貫した精度と信頼性を確保します。この完全な炉システムは、オプションの高い8ゾーン構成を含むさまざまな高度な機能を提供し、ホットプレートの温度を正確に制御し、プロセス制御を強化するための石英ガラス蓋の設計を容易に維持できます。主要な部屋は高力、ステンレス鋼フレームを使用して密封することができますサイドバイサイドRFの発電機および高精度バルブユニットは優秀なプロセス再現性を保証します。このマシンには、拡散サイクルが進行中であってもプロセス設定を適応させる機能を提供するため、特定のプロセスの要件に適応できる予測補償付きの14段プロセスコントローラも含まれています。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDには、プロセスモニタリングとデータロギングのための独自のリアルタイムソフトウェアツールが含まれています。この資産は、プロセス情報を追跡するための他のデータ管理ソフトウェアソリューションと統合するように設計されています。これは、リアルタイムでプロセス設定を最適化し、製品歩留まりを改善するために使用できます。また、省エネ型自己加熱機能を搭載し、電源切り替えを最適化し、サイクルタイムを犠牲にすることなく消費されるエネルギーを削減します。オプションの遠隔操作キットを追加して、ネットワーク接続による操作と監視を可能にし、メインチャンバーに内蔵されたマイクロスリットバルブにより、プロセスを中断することなく安全にチャンバーを避難させることができます。さらに、装置はオペレータの保護のためのすべての必要な安全基準を渡すように設計されています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDは、最新の半導体製造プロセスに最適な強力で信頼性の高い拡散炉システムです。高度な機能により、このユニットは製造業者の最も厳しいプロセス要件を確実に満たすことができます。堅牢な構造と直感的な設計により、操作と維持が容易になり、他のさまざまなデータ管理ツールとの互換性が効率的なプロセス管理を容易にし、製品歩留まりを最適化します。
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