中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083540 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SDは、半導体装置の製造における世界的リーダーであるTELが設計した拡散炉と付属アクセサリーです。集積回路などのウェハ形成に使用される熱処理装置です。TEL Alpha 808SDには、最適な処理結果を保証する複数のコンポーネントが含まれています。システムには、2つのコンピュータ制御電源、高温ライン、プロセスコントローラが含まれています。また、拡散炉、調整可能な望遠鏡アーム（簡単なローディングとアンロードのために）、絶縁バルブが含まれています。プロセスコントローラにより、プロセスごとに正確な温度、大気ガス、および時間パラメータを設定できます。また、東京エレクトロンALPHA 808 SDには、均一な温度分布と優れた温度均一性を提供する独自設計の拡散炉が付属しています。その壁は汚染を防ぐために特別にコーティングされており、その内部は長持ちするステンレス製ライナーを備えています。炉はまた均一な温度配分を維持するのを助ける段階的な暖房システムおよび調節可能なバッフルを含んでいます。TEL ALPHA 808 SDは、多数の基板を短時間で加工することが可能であり、力に依存する絶縁バルブ技術により、安全な動作と急速な冷却を保証します。さらに、モジュール設計により、部品のメンテナンスと調整が容易になります。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDは、さまざまな用途で効率的なウェーハ処理を可能にします。薄膜シリシデーション、ポリシリコン、ゲート誘電体、選択領域の金属蒸着、MEMS用途に最適です。RTP、ドライエッチング、拡散、酸化、LPCVD、および金属の電気化学蒸着にも適しています。全体として、Alpha 808SDは高性能な拡散処理システムです。優れたウェーハ加工制御、均一な温度分布、信頼性の高い動作を提供します。ALPHA 808 SDは、長持ちするステンレスライナーと調整可能なバッフルを備え、広範囲の拡散処理アプリケーションに最適です。