中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083539 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SDは、半導体ウェーハの均一で高精度なドーピングを実現するために設計された、先進的な拡散炉および関連アクセサリーです。TEL Alpha 808SDの基本設計は、高温熱室、電子ビームガン2基、補助ガス配分装置で構成されています。この炉は最大1,100°Cまでの広い温度範囲で働くことができます。炉は直径4"までのサンプルを加熱することができ、10分以下のサイクルで最大999サイクルを実行できます。2つの電子ビームガンは、半導体ウェーハの均一で正確なドーピングを担う部品です。この銃は独立してまたは同期して動作し、最大+/-10 Vの精度で、低、中、または高電子電流の強度を生成することができます。電子ビームガンはさらに補助ガス分配システムによって支援され、炉に異なるドーパントガスを正確に適用および投与するための分子ビームを生成します。この設計には、液体窒素冷却クライオポンプを含む洗練された真空ユニットと、ガスの流れと温度を正確に制御するための自動ガスの流れと温度調整システムも含まれています。最後に、TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDには、洗練されたフィードバック制御機も搭載されています。これにより電子ビームの空間エネルギー分布が調節され、サンプルのドーピング過程を精密に制御することができます。TOKYO ELECTRON Alpha 808SDは、半導体ウェーハの均一で高精度なドーピングを実現するために設計された、高度で精密な拡散炉および付属品です。このツールは、高温熱室、2つの電子ビームガン、および補助ガス分配資産を備えています。これらはすべて、正確で制御されたドーピングプロセスを提供するために組み合わされています。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDは、電子ビームの空間エネルギー分布を調節する高度なフィードバック制御モデルも備えています。