中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #293765074 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ808SDは拡散炉とその付属品です。それは熱酸化、ドライブインおよびドライブアウト、湿った窒化および他の拡散処理に促す精密な環境を作成するように設計されています。TELアルファ808SD拡散炉の最高温度範囲は1250°Cです。それは12。1"色のタッチ画面のプログラム可能なコントローラーが装備されています。プロセスアプリケーションやパラメータの直接入力、各アプリケーションタイプに最適なプロセスモードの選択が可能です。コントローラは最大40個のレシピをメモリに保存できます。コントローラには、選択可能な画面表示オプションを備えたプロセス監視機能があります。東京電子ALPHA 808 SD拡散炉には、アナログ光学ピロメータ、熱電対、駆動制御システムであるマイクロプロセッサベースのプロセスモニタリング装置（PMS）も搭載しています。PMSは、設定温度、温度速度、トータルサイクルタイムなどのプロセス変数を自動的に計算することができます。また、過熱、過熱、温度偏差などのさまざまな自動警報も備えています。アルファ808SD拡散炉にはオートローダも装備しています。オートローダは、拡散炉に複数のウェーハを簡単かつ効率的にロードできるように設計されています。重力、真空、スプリングキャリアなど、さまざまなタイプのキャリアを備えています。オートローダには、精密な動作のためのマイクロプロセッサ制御機構が装備されており、加工された表面の正確で均一な温度分布を保証します。東京エレクトロンアルファ808SD拡散炉も水平搬送ユニットを備えています。この機械は、オートローダから光路を介して処理チャンバにウェーハを輸送するように設計されています。ウェーハは輸送中に確実に保持され、正確かつ安全な処理が保証されます。ALPHA 808 SD拡散炉は、排気工具も備えています。アセットは、プロセス室から蒸気、廃ガス、煙、粒子をすばやく除去するように設計されています。これらの機能により、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD拡散炉とその付属品は、正確な拡散処理のための信頼性と効果的なツールとなります。