中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN #9097247 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCNは、1レベル直流（DC）平面マグネトロン源を有する電子サイクロトロン共鳴（ECR）イオン注入拡散炉です。この強力なツールは、アルミニウム、シリカ、窒化物などのさまざまな材料の薄膜をあらゆる種類の電子アプリケーションに堆積させるために使用できます。それは二重側面のスリットシャッターによって制御される平面銃が、分極の独立した均等性制御およびエネルギー変調のためにより正確で、有効な層の沈殿をもたらす装備されています。TEL Alpha 808SCNはすべてのECRイオン注入の拡散/スパッタリングシステムのための標準的なプラットホームで、多数の変数の完全な手動そして自動制御と。フィルム蒸着時の基板温度を調節するために使用できる6ゾーン温度制御システムと、拡散プロセスを最適化するための2つの追加圧力制御ゾーンを備えています。すべての操作は、シンプルでありながら強力なオペレータのインターフェースを介して管理することができます。このマシンは、最大使用可能なガス圧1000mbarの8 in （203。2mm）ウェーハ処理用に設計されています。また、ガスパージ機能により、蒸着チャンバにガスパージを導入し、安全性と性能を向上させることができます。また、蒸着工程に重水素と窒素を使用することができ、特殊な金属酸化物を製造することができます。TOKYO ELECTRON Alpha 808SCNは、高解像度イオン注入プロセスを提供し、従来のツールに比べて優れた性能を発揮する、非常に正確で精密なツールです。また、自動インフィード/アウトフィード機能を備えた効率的な生産ツールであることが証明されており、高いスループットと迅速なターンアラウンドタイムを可能にします。Alpha 808SCNは、すべての拡散およびスパッタリングのニーズに最新の技術およびプロセス要件を満たすように設計された、真空互換性のある絶縁ECRシングルレベルDC平面マグネトロンソース拡散およびスパッタリングツールです。その高度な機能は、今日利用可能な主要な拡散炉の一つになります。