中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE #9097867 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE Diffusion Furnaceは、半導体製造における高精度ウェーハ加工を可能にする高性能で高品質な装置です。TEL Alpha 808SCEは、TEL特許取得済みのCXシリーズコントローラを搭載し、オンザフライの温度制御と均一性を実現し、生産性の向上と信頼性の高い高品質の結果を実現します。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCEは、進歩的な炉のローディング、低エネルギー冷却、自動化された湿気およびガスシール、および速く、正確な温度および圧力制御のようなさまざまな先進的な機能を提供します。高度なAuto-Recover機能により、操作が容易になり、オペレータはプロセス制御を迅速に取り戻し、処理全体にわたって適切なウェーハ温度を維持できます。さらに、拡散システムの応力均等化機能により、ワープ形状の変化を最小限に抑え、高いウェーハ歩留まりを実現し、さらに品質を向上させます。Alpha 808SCEには、プロセス機能を強化するために設計されたいくつかのアクセサリーが付属しています。スペーサ回転ユニット（SRU）は、アライメントを最適化し、均一性を向上させます。クローラーユニットを使用すると、チャンバからウェーハを簡単にロードおよびアンロードできます。一方、シャトルユニットはチャンバ内の動きを容易にし、汚染やプロセスの変化を最小限に抑えます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCEは、温度帯の追加、圧力センサーの追加、および均一性を最適化するための最大30の追加ゾーンなど、さまざまな工場アップグレードのオプションによってさらに強化されています。アップグレード可能な冷却ユニットである改良冷却プレート（ICP）は、層プロファイルを改善し、ウェーハを冷却するために必要な時間を大幅に短縮することでサイクルタイムを短縮するように設計されています。TEL Alpha 808SCEには、処理中に最適な雰囲気を管理、監視、維持するEnhanced Atmosphere Control Machine （EACS）も搭載しています。TOKYO ELECTRON Alpha 808SCEは、さまざまなプロセス要件をサポートしながら、高いレベルの性能と信頼性を提供するように設計されています。Alpha 808SCE拡散炉の高度な技術と弾力性により、最大の生産性の向上と最適なデバイス性能が保証されます。