中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9083659 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ808SC拡散炉は、電子デバイス加工用に設計された最先端の製造ツールです。TEL Alpha 808SCは、シリコンなどの蒸着を可能にするシングルウェーハ垂直チューブタイプの炉です。炉の動作温度は最大1,000°Cで、高品質の熱安定性と均一性を提供します。東京電子ALPHA 808 SCのコンパクトな設計により、先進的なデバイス製造、製造、半導体研究、教育など幅広い用途に最適です。ALPHA 808 SC炉は、2つのダイレクトドライブ電動リフトステージを備えており、基板やウエハの取り扱いに優れた速度と精度を提供します。各ステージは、マシンの前面にあるタッチスクリーンパネルを介して独立して制御されます。また、コントロールパネルにはグラフィックユーザーインターフェイスを備えたコントローラが内蔵されており、操作とエラー訂正機能が簡単に行えます。この装置には、プロセスで使用される化学物質の安全で効率的な避難を可能にする自動ベントシステムも含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SCには2つの内部ガス供給ライン（IGSL）が装備されており、プロセス中に最大3つの異なるガスを導入することができます。内蔵のガスミキサーにより、チューブ全体に均一なガス分布が保証され、プロセスの均一性と歩留まりが向上します。効率を最大化するために、ユニットには自動圧力および温度制御マシンもあり、各アプリケーションのプロセスパラメータを個別に調整できます。TOKYO ELECTRON Alpha 808SCは、基板の安全かつ効率的な積み下ろしを可能にする高度なウェーハ搬送ツールを搭載しています。転送アセットは、最大直径6インチのさまざまなウェーハサイズに対応できます。このモデルは複数のロボットモデルと互換性があり、拡張プロセス中でもウェーハの高速ロードとアンロードが可能です。Alpha 808SCは最も要求の厳しい製造および研究の必要性を満たすように設計されている費用効果が大きく、信頼できる炉です。高度な機能と制御機能により、幅広いエレクトロニクスおよび半導体の製造に最適です。TEL ALPHA 808 SCは、優れた性能と品質の結果を提供しながら、時間とお金の両方を節約することができます。