中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9068394 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCは、ハイスループットウェーハ加工用に設計された拡散炉と付属アクセサリーです。このモデルは80リットルの部屋容積および1250°Cの最高温度を特色にします。この炉は最高の性能を誇り、安定した正確な温度制御、急速な温度回復、および速い加熱速度によってウェーハの均一性を提供します。この炉は、プロセス監視を容易にする統合されたプロセスモニターを備えており、環境条件の維持にも役立ちます。また、リモートコントロール機能を搭載したプログラマブルコントローラを搭載し、遠隔地からプロセスを制御することができます。コントローラにはユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスがあり、さまざまな周辺機器を接続して個々の処理要件を容易にすることができます。TEL Alpha 808SCには高度な制御機器アーキテクチャ（CSA）があり、効率的で統合された制御システムを提供します。このユニットはシミュレーション制御モードを備えており、ユーザーは世界中のどこからでもプロセスを制御することができます。また、複数のレシピ、非同期レシピを管理し、プロセスパラメータをリアルタイムで切り替えることもできます。拡散炉は簡単な設置とメンテナンスのために設計されており、メンテナンス時間を短縮する自動クリーニングツールが付属しています。この資産には、基板の積み下ろしを容易にするための統合ロードロックも装備されています。東京電子ALPHA 808 SCにはCFRP （Carbon Fibre Reinforced Polymer）チャンバーシェルがあり、高温にさらされてもその形状を維持します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SCは、プロセスの信頼性と安全性を確保する高度な安全機能を備えています。このモデルは、潜在的な危険のリスクを低減する自動冷却装置を備えており、プロセスの完全性を確保するためのさまざまなプロセス保護システムを提供します。また、TEL ALPHA 808 SCもカスタマイズ可能です。オプションのアクセサリを使用すると、特殊な処理ニーズに合わせてシステムをアップグレードできます。これらのアクセサリーには、追加のロードロック、水晶エンクロージャ、QCMセンサー、および水晶ウェーハキャリア/真空ソースが含まれます。このユニットは、他のTELシステムと統合して、お客様に完全なウェーハ処理ソリューションを提供することもできます。