中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #293774601 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCは、先進的な半導体加工アプリケーション向けに設計された最先端の拡散炉です。この汎用性の高いシステムには、拡散プロセスを正確に制御できるさまざまな機能が搭載されているため、さまざまな基材にわたって高品質で均一なフィルム成長が可能です。TEL Alpha 808SCは、直径300mmまでのウェハサイズに対応できる水平シングルウェーハ拡散炉です。このユニットは、酸化、アニール、化学蒸着（CVD）など、さまざまな高温プロセスを実行することができます。この柔軟性により、高度なCMOSデバイス製造からMEMS、オプトエレクトロニクスデバイス製造まで、幅広い用途に最適です。Alpha 808SCの主な特徴の1つは、その高度な温度制御マシンです。このツールには、ウェーハ表面にわたって正確な温度プロファイリングを可能にする複数の加熱ゾーンが装備されています。このレベルの制御により、ウェーハ全体の温度分布が均一になり、一貫したフィルム成長が可能になり、膜厚とドーパント濃度のばらつきが最小限に抑えられます。温度制御に加えて、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SCは、プロセス雰囲気を正確に制御できる包括的なガス供給資産を備えています。このモデルは、幅広いプロセスガスと前駆体を供給することができ、さまざまな化学組成を持つさまざまな薄膜の堆積を可能にします。この機能は、屈折率、電気伝導率、バンドギャップなどの特定のデバイス要件に合わせてフィルム特性を調整するために不可欠です。TEL ALPHA 808 SCは、システムの稼働時間と生産性を最大化する高速ウェーハ転送装置を搭載し、スループットを考慮して設計されています。このユニットは完全に自動化されており、レシピ駆動の操作とリアルタイムのフィードバックと制御を可能にする高度なプロセス監視機能を備えています。この自動化により、ヒューマンエラーのリスクを低減するだけでなく、プロセスの再現性と再現性を最適化することができます。また、東京エレクトロンアルファ808SCは、オペレータと機器の両方の保護を確保するために、さまざまな安全機能を備えています。このマシンは、安全でない動作条件を防ぎ、処理中に発生する可能性のある問題にオペレータに警告する複数のインターロックとアラームで設計されています。安全性に重点を置くことは、人員を保護するだけでなく、潜在的な損傷やダウンタイムからツールを保護するのにも役立ちます。全体として、ALPHA 808 SCは、精密な制御、高スループット、高度な安全機能を提供する汎用性と信頼性の高い拡散炉アセットです。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCは、高度な温度制御、包括的なガス供給モデル、自動化された操作により、高品質のフィルム成長とタイトなプロセス制御を必要とする幅広い半導体加工アプリケーションに適しています。