中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC-Z #9083658 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SC-Zは、ウェーハ加工に役立つ各種アクセサリーを搭載した拡散炉です。この拡散炉は、人気のあるAlpha 808SCモデルへのアップグレードです。温度均一性とウェーハ接触性が向上しているため、エピタキシャル成長と最も要求の厳しい熱処理の両方に最適です。炉は、垂直構造で、N2（窒素）または混合N2/H2（窒素/水素）の2つの制御された雰囲気の選択で設計されています。温度範囲は50〜1000°Cで、オプションのグラファイトサセプターとヒーターを使用して、最大温度能力を1000°C以上に拡張できます。この拡散炉は、高k誘電体や金属ゲートなどの先進的なデバイス開発プロセスに適しています。この拡散炉の大きな利点は、8個の6インチ正方形ウエハを同時に4×2構成で収容できることです。高精度な位置決めにより、信頼性の高い内熱ガス流量を実現し、炉全体で温度均一性を調節できます。その他、温度測定機能を内蔵したカセットやウェハホルダー、酸化から保護するための窒素パージシステムを内蔵するなど、さまざまな安全機能を備えています。さらに、拡散炉は、SECS/GEM準拠のソフトウェアを使用してオンライン監視とデータ収集をサポートします。これにより、オペレータは炉のセットアップからウェーハ処理まで、プロセス全体を効率的に管理することができます。TEL Alpha 808SC-Z拡散炉は、ウェーハ加工のための強力で信頼性の高いツールです。優れた温度均一性、改良されたウェーハ接触を提供し、さまざまな基板やプロセスガスに対応できます。高精度の温度制御、ハイエンドの安全機能、およびSECS/GEM準拠のソフトウェアを備えたこの拡散炉は、先進的なデバイス開発に最適です。