中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #9026276 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S
ID: 9026276
ウェーハサイズ: 8"
LPCVD furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808Sは、さまざまな用途やプロセスに使用できる拡散炉・アクセサリ機器です。これは、半導体やその他の基板材料で拡散プロセスを実行する研究所や大学のための強力で信頼性の高いツールです。TEL Alpha 808Sは、最大8つの加熱ゾーンを備えた自動化された垂直統合プラットフォームを提供し、標準的な拡散プロセスと特殊プロセスの両方をサポートします。このシステムには、プロセスのバリエーションを最小限に抑え、一貫性のある結果を保証するためのさまざまな機能も搭載されています。これには、温度とガスの流れを正確に調整できるデジタルコントロールユニット、および正確なプロセス制御を提供するためのスタンディングウェーブモニターとマルチゾーンポート制御が含まれます。また、東京エレクトロンアルファ808Sには、拡散プロセスの監視、分析、制御に関する幅広い機能を提供する高度なソフトウェアパッケージが付属しています。これにより、ユーザーは効率的に一元化された場所からプロセスを監督し、変更することができます。また、完成したプロセスを包括的に分析し、温度、炉圧、プロセス履歴などのデータを提供します。これにより、プロセスのパフォーマンスを最適化し、迅速なトラブルシューティングを可能にします。機械プラットフォームは、曲げに抵抗するように設計されており、精密温度制御、高速ウォームアップとクールダウンタイム、および高性能操作を可能にします。それはエネルギー消費を減らし、過熱による資産および材料への損傷を防ぐのを助けるセラミック繊維の絶縁材ツールと組み立てられます。Alpha 808Sモデルもコンパクトに設計されており、電力を損なうことなく実験室のスペース要件を満たしています。平行チャンバーの設計が短縮され、床面積が節約でき、機器全体の重量はわずか425kgで、他の拡散システムと比較して移動と保管が容易になります。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808Sは安全で信頼性が高く、高性能なため、研究室や大学が拡散プロセスを実行するのに適しています。高度な自動化、手間のかからないメンテナンス、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、ユーザー制御を強化します。その高度な機能と信頼性の高い結果は、拡散アプリケーションに最適です。
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