中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #293765066 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ808S拡散炉は、半導体加工の先進工具です。高度なエアフロートPID温度制御装置と多層クォーツオーブンを使用し、一貫した精度とスループットを実現する独自の設計により、最適なパフォーマンスを実現します。TEL Alpha 808Sは、アクセサリー・アンプル・インジェクターおよびサーマルウェーハ・キャリアと併用することで、サイクル時間を大幅に短縮し、温度制御を改善し、スタック・ウェーハを損傷する可能性のあるバーンイン状況から回収することができます。TOKYO ELECTRON Alpha 808Sは、半導体、MEMS、マイクロエレクトロニクスデバイス向けに設計されています。堅牢な3。2kWの単相電源を搭載しており、最大1300°Cの高い動作温度を実現するのに十分です。それは多くの他の部品の間で密封されたステンレス鋼のエンクロージャ、粉上塗を施してあるアルミ合金フレームおよび耐火性の水晶内部の管で、構成されます。炉内の温度と活動を監視し、マルチゾーン温度制御PID温度制御システムを使用して管理され、サイクル全体にわたって精密なウェーハ温度制御が可能です。優れた窒素（N2）純度のために、アルファ808Sは、窒素を連続的に浄化するためにソリッドステートフィルターを使用した高性能のdeliquescentタイプの浄化ユニットを使用しています。この機械は炉が高温で動いているときでもサブppm窒素の配達を可能にし、プロセスは高い反復性および一貫性と維持することができる。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808Sは、さまざまなアクセサリー製品をサポートしています。これらには、アンプル注入器やサーマルウェーハキャリアが含まれます。これにより、ウェーハを炉から他の工具に正確かつ効率的かつ安全に転送できます。金属前駆体を含むアンプルは、さらに精密なラミネートとディテール制御のために炉に簡単に供給することができます。これらは、TEL Alphaを高度な半導体デバイス製造タスクに最適な808Sにする機能のほんの一部です。その優れた設計は、再現可能な結果と一貫して高品質のパフォーマンスを提供しながら、均一な熱温度と活動を保証します。TOKYO ELECTRON Alpha 808Sは、アクセサリー製品を使用して、幅広い製造要件にわたるプロセス全体を管理することができ、最も過酷な作業を高い精度で完了するための安全で信頼性の高い方法を提供します。