中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808 #9394399 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808
ID: 9394399
Vertical diffusion furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808は、半導体産業で使用するために設計された先進的な拡散炉およびアクセサリーです。多種多様な半導体デバイスの製造における高温アニーリングプロセスに最適です。その設計は、信頼性と使いやすさと洗練されたオートメーション機能を組み合わせて、最高の効率と製品歩留まりを保証します。この炉はコンパクトで頑丈な設計で、デジタルクローズドループのフィードバックシステムを通じて優れた熱性能を提供します。マルチゾーン温度コントローラは、各ゾーンの独立した制御で、ロードチャンバー内の温度を慎重に調整します。これにより、チャンバー全体で均一な温度が保証され、アニーリングプロセスを最適化するために事前にプログラムすることができます。さらに、チャンバー内に設置された高精度の熱電対は、正確な温度監視とフィードバックを提供します。炉は、基本的なアニーリングから酸化または窒化まで、さまざまな複雑なアニーリングプロセスに適しています。炉本体に直接取り付けられた高性能ガス搬送システムにより、汚染物質などの不要物質の除去も可能です。このシステムは、統合ソフトウェアを介して手動またはプログラムでアクセスでき、オペレータは簡単にパラメータを調整してプロセスを最適化することができます。TEL Alpha 808の標準機能には、加熱チャンバーにプラズマを注入するために使用されるE-off無線周波数(RF)事前祭壇ソースと電源に組み込まれたRF調整可能マッチングブリッジが含まれます。これにより、供給される電力に一定のインピーダンスがあり、手動周波数調整が可能になります。TOKYO ELECTRON Alpha 808は、高度な安全機能を搭載し、人員や機器の安全性を確保しています。負荷部屋に部屋が熱されるとき自動的に締まる統合された安全ドアがあり温度限界および圧力スイッチ装置は必要な保護を提供します。Alpha 808は、半導体業界に合わせた包括的なソリューション群の一部であり、お客様が市場で最も先進的な製品やサービスにアクセスできるようにします。
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