中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SCN #9215213 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805SCNは、高性能な拡散炉とアクセサリパッケージで、施設の拡散ニーズに合わせた産業用強度ソリューションを提供します。これは、すべての拡散プロセスを1つの使いやすく効率的なパッケージで実行するように設計されています。これには、高温熱プロセスと化学プロセスの両方が含まれます。炉自体はステンレス鋼から成り、状態、それが必要とする性能をユーザーに与えることができることを確かめる多数の特徴があります。加熱ゾーンは最大1200°Cの温度を提供し、冷却ゾーンは最低40°Cの遷移を保証します。また、高感度な部品の加熱を防止する耐熱ゾーンを備えており、さらなる柔軟性を提供します。拡散プロセスには、拡散する材料の薄い層の適用と、必要な拡散プロセスを活性化するための蒸着チャンバの内部加熱の2つの異なる段階があります。805SCNは、優れた均一性と大きな冷却ゾーンのための大きなグラファイトサセプターを備えた統合拡散チャンバー炉を備えています。統合されたデジタルコントローラは、正確な温度と時間制御を可能にし、非常に特定のパラメータを設定することができます。805SCNの拡散アクセサリーパッケージには、複数のるつぼ、サセプター、ポンプ、トランスファーシステム、ローディングシステムが含まれており、それぞれを交換して最高品質のパフォーマンスを保証することができます。これには蒸着源とレギュレータが含まれ、熱安定性を維持しながら蒸着プロセスを正確に制御できます。この805SCNには、幅広いプロセスモニタリングツールも付属しています。正確な温度測定と材料分析のための真空ゲージ、熱電対、ラムダプローブなどのセンサーがあります。さらに、内部環境の均一性は、最適な結果を得るために統合ガスアナライザと圧力レギュレータによって維持されます。要するに、TEL Alpha 805SCNは、すべての拡散プロセスを容易かつ効率的に実行するように設計された高性能拡散炉およびアクセサリパッケージです。それに精密な温度および時間制御のための統合された拡散の部屋、大きいグラファイトのサセプターおよびデジタルコントローラー、また監視および付属品の範囲があります。それは多数の拡散の適用のための装置の理想的な部分です。