中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SC #293622204 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805SCは、高精度な熱制御と幅広い温度範囲を提供する高品質の拡散炉です。デバイス製造やその他の関連産業にとって貴重なツールです。TEL Alpha 805SCは、最も要求の厳しいプロセスのニーズを満たすように設計されています。それは高い均等性および反復性の均一な、制御された温度のプロフィールを作り出すことができます。チャンバーサイズが大きいため、複数の基板を同時に加工できます。さらに、± 2°Cの精度で最大950°Cの大きなチャンバー容積と急速な温度上昇により、重要なアプリケーションで一貫した結果が得られます。TOKYO ELECTRON Alpha 805SCは、ウェーハ表面全体にわたって均一な温度を維持するための低熱勾配を備えています。部屋の温度は均一な暖房を保障するために3つの温度地帯で監視され、維持されます。また、ウェハマッピングシステムとの接続を可能にするマルチポイント炉インターフェースを備えており、最大28の熱電対サイトの監視と制御が可能です。Alpha 805SCには、オペレータとシステムの安全を確保するために、窒素パージや水冷などのいくつかの安全システムも装備されています。さらに、炉はメンテナンスとメンテナンスフリーの発熱体のための容易なアクセシビリティで設計されており、稼働時間を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805SCは、幅広い用途に対応した高性能、信頼性、高度な拡散炉です。これは、LPCVD、 ALD、 RTP、 HTMなどの半導体デバイス製造および高度なプロセスに最適なソリューションです。その精密温度制御、広い温度範囲、ウェーハ表面全体の高い均一性により、高度なプロセスに最適です。