中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805DN #293622218 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805DNは、マイクロチップ製造用に特別に設計された拡散炉とアクセサリーパッケージです。このパッケージは、拡散炉、排気装置、および加熱された周囲空気供給の組み合わせであり、ユーザーは、精密マイクロチップ基板上の蒸着、酸化、アニール、エッチングなどの高精度プロセスを実行することができます。拡散炉は、800-1250°Cの温度範囲で優れたウェーハの均一性を提供するために、垂直水晶チューブとトップローダーを備えています。強力なガス混合システムと高い均一性は、フィルム、トレンチ、ギャップエッチングのタイトな制御を保証し、ヒーターモジュールと石英チューブのエッジ絶縁は、チップエッジ近くの材料の酸化を防ぎます。排気ユニットには、強力なルーツブロワー、シングルステージスクラバー、およびほこり除去フィルターが含まれており、プロセスガス、粒子、ほこり、有害物質の迅速かつ効率的な除去を可能にします。加熱された周囲空気供給により、チップ性能を最適化するために必要な環境を迅速に作成できます。TEL Alpha 805DNは、温度、圧力、ガス入力用のユーザーフレンドリーなタッチスクリーンコントロールを備えた洗練されたコントロールコンソールで動作します。このマシンは、再現可能なプロセス実行のためにプログラムすることもでき、ユーザーは一貫した高品質の製品を作成することができます。さらに、組み込みセンサーを使用すると、温度、圧力、プロセス時間を監視することができ、毎回正確で信頼性の高いパフォーマンスを保証します。TOKYO ELECTRON Alpha 805DNは、高度なPIDコントローラとリアルタイムプロセスログ、過熱や過熱を最小限に抑える保護メカニズム、自動インターロック機構を備えたドアなど、さまざまな安全機能を備えたハイスループット生産ライン向けに設計されています。このパッケージは、最も困難な拡散プロセスに適しており、理想的な大量生産ソリューションです。