中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #9361888 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D
ID: 9361888
Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805Dは、幅広いデバイスの製造を可能にするために設計された拡散炉とアクセサリーです。それは炉の部屋の熱の精密制御そして均一配分を提供する信頼できる、しかし強力な部品が最終的により一貫した装置性能に導く装備されています。TEL Alpha 805Dは、400°C〜800°Cの範囲で材料またはドーパントの拡散を目的とした低温炉です。最大25Paの圧力で、低圧処理と高圧処理の両方に柔軟性を提供します。内部の部屋はステンレス鋼から構成され、全体の炉区域を渡る均一な暖房を提供するように設計されています。この炉のモデルは、運転中に安定した均一な熱分布を提供しながら、消費電力を削減するように設計されたグラファイトエネルギーザを使用しています。高度のグラファイトのエネルギーザはまた温度の均等性を改善するのを助けます。TOKYO ELECTRON ALPHA 805Dには、ピロメーターや光ファイバケーブルなどの高度な光学診断ツールが搭載されており、室内の温度を簡単かつ効果的に監視できます。このモデルには、パルスアルゴンフロー制御とウェーハ検出があり、オペレータがウェーハ処理中のアルゴンガスの流れを制御するのに役立ちます。アルファ805D炉は、ドアの安全ロック、温度が一定のレベルに達したときに点灯する表示システム、温度が設定された制限を超えた場合にトリガーする高温アラームなど、複数の安全機能を備えています。また、ドアを開けると自動的に炉をシャットダウンする非常シャットオフバルブが付属しています。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805Dはメンテナンスが容易で長時間使用が可能です。グラファイトインテリアと交換可能な部品は、必要に応じて簡単にメンテナンスおよび交換できるように設計されています。全体として、TEL Alpha 805Dは信頼性が高く効率的な拡散炉であり、精度と温度制御だけでなく、いくつかの安全対策を提供します。低圧・高圧加工に適しており、幅広い業種に対応した汎用性の高い工具です。さらに、その巧妙な設計は、優れた温度の均一性を促進するのに役立ち、最終的には優れたデバイス性能の配列をもたらします。
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