中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #9355781 を販売中

ID: 9355781
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Diffusion furnace, 8" 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805Dは、高性能な電子デバイスに高速で信頼性の高い拡散処理を提供するために設計された拡散炉およびアクセサリです。使いやすいユーザーインターフェイス、高度な機能、優れた信頼性を備えています。炉および付属品は標準的な3インチのインゴット容量を使用し、その堅牢で高効率なガス拡散装置は基板全体に均質な加熱を提供し、潜在的なホットスポットを排除します。TEL Alpha 805Dには、PIDコントローラ、自動温度分布制御、停電ロックアウト(電源は自動的に切断されます)などの高度な強力な温度制御システムが装備されています。これにより、再現性と信頼性の高い結果が得られる正確で均一な拡散プロセスが保証されます。広い温度範囲を有し、現在の最高温度は1600°Cであり、プロセス速度と歩留まりを大幅に改善します。また、基板の温度に応じて制御設定を自動調整できる高度なオートチューニング機能も搭載しています。TOKYO ELECTRON Alpha 805Dのアクセサリーには、プレナムチャンバー、複数の温度センサー、ガスディストリビューター、トップシールドなどがあります。このチャンバーは、プロセスガスを乱流なく素早く導入することができ、均一な拡散プロセスを保証します。温度センサは、精密な電流と内部のオーブン温度測定と、プロセス制御機械の一部としての履歴データを提供します。ガスディストリビューターは、基板全体の均質な加熱を損なうことなく、最大3つの異なるプロセスガスを導入することができます。トップシールドはプロセス環境の制御性を高め、プロセスの再現性を確保します。Alpha 805Dは、拡散プロセスのための信頼性の高い高度なツールです。効率的で安全な拡散プロセスを提供し、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと自動チューニング機能により、正確さと再現性が保証されます。最高温度とスマートな機能により、高性能エレクトロニクスデバイスに最適です。
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