中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #9071568 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CNは、高速、正確、効率的なウェーハ加熱処理用に設計されたハイエンド拡散炉およびアクセサリーです。このシングルチャンバーユニットは、2段階の洗浄プロセスを利用して、一貫してクリーンなウェーハを生成するように設計されています。プロセスは、窒素と酸素を組み合わせてウェーハから粒子を除去することから始まります。次に、第2段階では、窒素の圧力均等化フラッシュを使用して残留粒子を除去します。このシングルチャンバー拡散炉は、TELの業界をリードするFPDおよびRTP製品で使用されるエネルギー効率の高い熱画像システムと同じイオン注入モジュールを搭載しています。このモジュールは、任意のプロセスのウェーハ温度の正確なチューニングを可能にします。また、効率的なウェーハ加熱のための垂直水晶チューブを独自の二重層に配置し、より高い加熱率と改善されたウェーハレベリングを可能にします。TEL Alpha 805CN拡散炉には、均等に調理されたウェーハを確保するための高感度の自動圧力および温度制御システムも含まれています。これにより、炉で処理されるすべてのウェーハが温度設定ポイントの範囲内にあることが保証されます。それはまたよい断熱材のための絶縁された真空のジャケットを含んでいます。この絶縁材はより速い熱放散および改善されたエネルギー効率を保障します。TOKYO ELECTRONアルファ805CN拡散炉も使いやすく、直感的なタッチスクリーンディスプレイを備えています。あらゆる業界標準サイズに完全に収まるように設計されており、TOKYO ELECTRONの既存の製品ラインと互換性があります。さらに、ハイエンドのエネルギー効率により、電気とメンテナンスコストの面でより多くの節約を提供します。アルファ805CNは、高度な拡散炉とアクセサリーです。これは、効率的で使いやすく、エネルギー効率が高く、費用対効果が高いように設計されています。それは信頼でき、費用効果が大きい拡散炉を必要とするあらゆる製造者か製作者のために完全です。