中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293651966 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CNは、効率を最大限に高めるために設計された拡散炉です。この堅牢で信頼性の高い炉は、均一な温度制御、高速加熱、および重要なパラメータの正確な制御を提供します。TEL Alpha 805CNはエピタキシャルの成長、ケイ酸化、多ケイ素の沈殿およびインプラントのようなさまざまな拡散の適用のために適しています。その特徴は、効率的な不規則な形の石英チューブ、高温設計、マルチイオンライナー（MIL）ウェハホルダー、E型温度センサーなどです。TOKYO ELECTRON Alpha 805CNは、ウェーハ表面全体でわずか4分で1600°Cに到達し、均一な温度制御が可能です。Alpha 805CNは、SAGF （Substrate Assist Gas Flow）プロセスをサポートし、温度制御とポリシリコンの蒸着におけるさらなる均一性を提供します。マルチゾーンMEL（マルチゾーン外的な上昇）は均一な温度のプロフィール、また反復可能で、制御可能な成長プロセスを高めます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CNの精密温度制御は温度調節器の使用によって達成されます；温度センサーおよび熱センサーの技術。TEL Alpha 805CNが提供するE型温度センサは、室温より低い温度から1600°Cまでの温度測定が可能です。また、L （Length）タイプの温度コントローラを使用することも可能です。柔軟で手頃な価格で効率的なデバイスで、正確な温度制御と均一性を保証します。マルチゾーンアプローチのために、東京エレクトロンアルファ805CNは、簡単に接続して外部制御することができる4ゾーンのセグメンテーションを提供しています。この炉はまた拡散のためのあなた自身の調理法を形成し、設計するさまざまな選択を提供します。さらに、Alpha 805CNは、化学機械式リフター（CML）、 LIN （Low Internal Pressure）システム、および複数のガス流量制御オプションを提供しています。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CNは、過負荷保護スイッチ、電気回収装置、自動低圧検出器、自動高温検出器、クオーツチューブの非常用熱電対、空冷などの安全機能も備えています。これらの特徴は、炉の安全な動作を保証し、拡散プロセスに関連する潜在的なリスクを低減します。全体的に、TEL Alpha 805CNは、金属化、エピタキシーおよびその他の拡散プロセスのための効率的なソリューションです。様々な用途に迅速かつ効率的で正確な操作を可能にするために必要な部品を備えています。