中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622212 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CNは、半導体材料製造に最適なCVD/PECVD多目的拡散炉です。この最先端の拡散炉は、900°Cの高温を備えており、さまざまなサイズの複数のウェーハに対応するのに適した大型加工チャンバーを備えています。さらに、精密DC加熱機能を備えており、精密な温度制御を可能にします。拡散炉は過熱検知や漏れ検知などの安全性に優れています。また、低熱ノイズとクリーンな排気システムを備えており、安全でクリーンな作業環境を確保しています。また、自動車ガスフローメーター、超薄型高温ヒーター、リーク密度向上用の真空熱室蓋など、幅広いアクセサリーを取り揃えています。拡散炉は操作のための大きい柔軟性を提供します。オートコントロールシステムを追加することで、効率的かつ自動化された操作を可能にし、手動操作の必要性を排除します。また、高度な自動搬送システムを組み込むことで、ウェハの取り扱いが容易になります。また、TEL Alpha 805CNは、対象チャンバ内の温度を測定するセンサーやモニター上のリアルタイムディスプレイによるプロセス精度と信頼性の向上により、プロセス制御の向上にも貢献しています。また、高度なデジタル登録、リモート監視、インテリジェントデータロギング機能を備えており、ユーザーはいつでも貴重な情報にアクセスできます。TOKYO ELECTRON Alpha 805CNは、半導体製造用の効率的で信頼性が高く安全なCVD/PECVD拡散炉であり、優れた柔軟性とプロセス制御性を提供し、クリーンで安全な環境を提供します。そのユーザーフレンドリーなデザインは、多くの産業および研究室のアプリケーションでの使用に適しています。