中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622165 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CNは、シリコン製造および関連プロセスに使用するために設計された、先進的な拡散炉です。805CNは超低温拡散炉で、極めて精密な温度制御、排出量の削減、均一性の向上を実現しています。805CNは8つの個々の炉の積み重ねが付いているモジュラー装置であり、それぞれは独立して監視し、作動することができます。TEL Alpha 805CNの最高温度は1350°Cで、暖房電力は最大18kWです。拡散チャンバーにはガス供給と排気システムが内蔵されており、フッ素や酸素などのガスやシリコンなどの特殊ガスの正確かつ効率的な拡散を可能にします。また、遠隔監視のための高度なデジタル通信インターフェースが装備されています。この805CNは、革新的なソフトウェアパッケージと強力な制御ユニットを備えており、高度なプロセス制御を可能にします。これには、温度最適化、データロギング、自動制御、アラーム管理が含まれます。強力な制御装置は、正確で正確なプリセット温度設定を可能にするだけでなく、拡散チャンバ全体にわたって均一な温度分布を確保するために設計されています。TOKYO ELECTRON Alpha 805CNには様々なアクセサリーが用意されています。キャリアモジュールは、チャンバー全体の均一な雰囲気を確保し、拡散プロセスの均一性を高めるように設計されています。また、正確な温度測定と制御のために、さまざまな熱電対、センサ、コネクタが用意されています。拡散チャンバーには、対流低減カバーと熱放射シールドも備えており、熱エネルギー損失の低減、工具効率の向上、粒子汚染の最小化に役立ちます。805CN炉はまた均一な冷却の大気を保障するのを助けるために水晶ボートおよび鐘の冷却のジェット機のような付加的な付属品と、使用することができます。Alpha 805CNは、広範囲の拡散プロセスに適した汎用性の高い資産です。特に、処理温度が非常に低く、高精度な温度最適化が必要なアプリケーションに適しています。高度なデジタル通信インターフェースとさまざまなアクセサリを備えたこの805CNは、シリコン製造および関連プロセスに最適です。