中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293756811 を販売中
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ID: 293756811
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Furnaces, 8"
Type: LP-CVD
Process: TEOS
FUJIKIN Air valve
VMM-35-001 Heater
MFC, MFM: STEC
Gases: PN2, O2, TEOS
Operating panel
Gas flow chart panel
Panel switcher
Hardware switches
Floppy Disk Drive (FDD)
Heater chamber
Process tube (Reaction tube)
Auto-door
I/O Port
Cassette transfer
Stocker
Transfer stage
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Scavenger
Cooling water unit
Temperature controller
Machine and pressure controller
Boat stage
(5) Fork
Signal tower
Manifold
Display
Power control system
Gas unit
Vacuum sensor
ETC
Power:
3 Phase, 208 VAC
Single Phase, 100 VAC
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ805Cは、基板の加熱・エッチングを制御する各種アクセサリーを備えた拡散炉です。主要な部屋は加圧され、プロセス状態の最高の正確さそして制御のための2つの別の加熱された地帯に分けられます。メインチャンバーには2つの独立した制御可能な発熱体が装備されているため、2つの異なるプロセス温度をメインチャンバーと補助チャンバーでそれぞれ維持できます。主要な部屋は2つの手動で調節可能な棚および調節可能なガスの注入港を特色にします。補助チャンバーは手動で調整可能な圧力センサーとガス排気管を備えています。TELアルファ805C拡散炉は、AC 200V/220Vまたは50/60Hzの単相電源で駆動し、複数の安全機能を備えています。過熱警告LEDインジケータとブザーは、異常な状態の場合にはオペレータに警告します。TOKYO ELECTRON Alpha 805Cには直感的なLCDグラフィカルパネルディスプレイがあり、プロセス条件を簡単に追跡できます。このディスプレイはプロセスレシピデータストレージも備えており、主要なプロセスパラメータを簡単に監視できます。また、プロセス全体において精密な温度設定ポイントと温度メンテナンスを提供し、正確で一貫した拡散処理を可能にします。アルファ805C拡散炉は、薄膜のエッチングと蒸着のための複数のアクセサリーを備えています。エッチング用バスケット、エッチング率を制御するための石英ライナー、基板間の距離を調整するための吊り棒などがあります。また、エッチングおよび蒸着プロセス用の様々なガス入口継手が付属しています。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805Cには、エッチングプロセスを監視および制御するための様々なアクセサリーが装備されています。付属品の選択は酸素およびアルゴンのガスの流れメートルおよび制御弁、熱電対、および自動化されたPIDのコントローラーを含んでいます。TELアルファ805C拡散炉は、再現可能な高精度の熱処理とエッチング処理が可能です。これは、大量の再現可能なエッチングプロセスで使用するために設計されており、高真空プロセス環境での機能に適しています。この拡散炉は、信頼性と正確な結果を提供し、産業、実験室、教育現場の広い範囲で使用することができます。
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