中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293642578 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293642578
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Furnace, 8"
Process: TEOS
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 1/4" UJR / Utility box
TEOS / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS:100 V, Single Phase, 3 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805Cは、幅広い用途に対応できる多目的な拡散炉です。これは、標準パッケージで利用可能な最も正確な温度制御を提供するように設計されています。TEL Alpha 805Cは、200〜1250°Cのすべての基板の精密な熱処理を可能にし、ウェーハ全体で高い均一性を発揮します。それに酸化、LPCVDおよび急速な熱処理機能があり、高温窒素、窒素のTrimethylのホウ酸（NTMBS）、アンモニア（NH3）、水素および塩素と補うことができます。東京エレクトロンアルファ805Cシリーズの拡散炉は、正確な温度管理と均一性を保証する革新的なヒーター巻線システムを備えています。このシステムは、より良い温度制御によりガス消費量を削減し、高効率であり、酸化およびLPCVDプロセスに最大の動作温度を提供します。温度の均一性を最大化するために、2つのガスゾーンがウェーハ全体にわたって正確な温度制御を提供します。この設計は、炉の雰囲気を制御し、熱勾配を低減するのにも役立ちます。Alpha 805Cは高速かつ効率的な運用のために設計されており、高スループット生産が可能です。それに速いサイクル時間があり、短いサイクル時間の大きい生産のロットを扱うことができます。安全のために、炉は、過電流、短絡、およびプロセスガスの不整合を検出できる堅牢な安全センサーで構成されています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA（テル/トーキョーエレクトロン・アルファ・805C）は、大規模なin-situハイブリッド炭化水素スクラバーを備え、安全で効率的な運転のためのクリーンな環境を提供します。炉はまた冷却のコンデンサーの選択と設計され、内部の温度の変動を減らすのを助けるために外的な排気ファンと合うことができます。コントロールパネルの7セグメントカラーディスプレイは、炉の運転状況を明確に表示します。TEL Alpha 805Cはマルチステップ操作とプロセスレシピ生成も可能です。TOKYO ELECTRON Alpha 805Cは、大容量の生産用途に理想的なオプションであり、優れた温度制御、高速応答時間、および優れた均一性を提供します。カスタマイズ可能なデザインとさまざまな機能により、ユーザーは正確なニーズに合わせて簡単にカスタマイズできます。Alpha 805Cは、拡散プロセスと高精度の熱処理に最適です。
まだレビューはありません