中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293651970 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SDは、高性能な拡散炉とその付属品です。このシステムは、幅広い半導体および光電子材料に対して正確で信頼性の高い処理を提供します。これは、CVDおよびPVDプロセス、結晶沈着、またはウェーハ製造などの多くのアプリケーションで使用されます。TEL Alpha 803SDは、プロセスパラメータの最適性を確保するために設計されたさまざまなコンポーネントで構成されています。拡散熱壁型炉室は21-4Nステンレス鋼を使用して構成されており、その寸法は多量の基板面積を可能にする寛大な内部容積を提供します。さらに、チャンバーの天井と壁には広範な暖房エリアがあり、異なる基板上の均一な温度プロファイルを可能にします。すべての操作は、使いやすくユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によって制御されます。TOKYO ELECTRON Alpha 803SDの1000°Cまでの精密温度範囲を様々な用途に合わせて調整できます。一方、高度な均一性制御技術は、温度ゾーン間の変化を減らし、ホットスポットを防ぐように設計されています。さらに、さまざまなレシピを保存してプロセスを自動実行し、目的の結果を一貫して提供することができます。Alpha 803SDは、独立した加熱ゾーンやガスバルブインターロックなど、複数の安全機能も備えています。また、強制空冷システムを搭載しており、幅広いガスおよびプロセスラジカルに対応しています。そのモジュラー型の性質は容易な維持およびサービスを保障し、堅牢な構造は信頼できる操作および延長ライフサイクルを保障します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SDは、高信頼性・高効率で、多くの用途に適した高性能拡散炉です。そのモジュラー設計は容易な取付けおよび維持を可能にします、高度の安全特徴は安全な操作を保証します。広い温度範囲、均一性制御、および大型チャンバーにより、さまざまな種類の拡散プロセスに最適です。