中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293622216 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ803SD拡散炉は、優れた製品均一性と特殊な酸化・拡散ニーズを提供するために設計されています。この拡散炉は、熱酸化と拡散、浅い接合部の形成、ゲート酸化物の形成など、さまざまなプロセスを駆動するために使用できます。TEL Alpha 803SDは、幅広いプロセス範囲を有する高効率の垂直型拡散炉です。デュアルカセットシャトルの設計により、プロセス時間を短縮し、手動転送を不要にすることで、スループットを向上させることができます。新たに開発された均一性制御システムは、特別なUCプログラムを適用することにより、効果的な均一性制御（UC）を保証します。TOKYO ELECTRON Alpha 803SDは、他のプロセスを犠牲にすることなく、高性能なプロセス制御を維持する高度な熱制御システムを備えています。熱制御システムは、環境条件の変化による変動を最小限に抑えながら、効率的なプロセス制御を提供します。また、マルチバンク設定機能により、大面積の加工や小ロット生産を精度向上させ、効率的で信頼性の高いプロセスを実現します。Alpha 803SDは、希望するRTAと低熱予算を得るための低温熱処理機能も備えています。この低温熱処理により、酸化物ストイキオメトリー制御、誘電・金属界面の制御、表面粗さなどの特性が向上します。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SDには、ケミカルソースのバックフィリング、トラックおよびプラットフォーム加熱、自動ケミカルポンピング、各種I/Oポート、真空再生システムなど、さまざまな機能が搭載されています。この幅広い機能により、さまざまなプロセスを完了する際の柔軟性と精度が向上します。TELアルファ803SD拡散炉は、最も要求の厳しい拡散プロセス要件を満たすように設計された先進的な製品です。幅広いプロセス範囲と効率的な制御により製品の均一性が確保され、マルチバンク設定と低温熱処理機能により、高精度でさまざまなプロセス目標を達成するための不可欠なツールとなっています。