中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SC #293651969 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SCは拡散炉とその付属品です。様々な材料を様々な方法で加工するために設計された高性能な水平熱加工炉です。この803SCは、半導体ウェーハの処理に使用される効果的で効率的なツールです。TEL Alpha 803SCには、加工室の中央を水平に走る水晶管が付属しており、水晶ケーシングで保護されています。200°Cから1175°Cまでの調整可能なセットポイント温度と1200°Cまでの処理温度を備えています。加工チューブの長さは48インチで、最大2つの25インチウェーハに収まることができます。管は2つの移動可能な電極が装備されています。また、ゴムサポートに電極を取り付け、安全な動作を実現しています。東京エレクトロンアルファ803SCは、チャンバーの圧力、温度、パージ/ローディング時間などのパラメータを操作できる高精度コントローラも備えています。コントローラはタッチスクリーンのグラフィックユーザーインターフェイスを備えており、チャンバー内の真空レベルを制御するために使用することができ、オペレータは最適な処理条件に必要なパラメータを正確に制御することができます。803SCにはガスコントロールモジュールも装備されており、プロセスチャンバーにガスを追加して、目的の環境を作成するか、プロセスを補完することができます。これは、さまざまな標準ガスと互換性があるように設計されており、ガスの混合を制御することができ、プロセスが所望の結果で完了することを保証します。803SCには、ガス漏れ検出システムを含む安全回路部品、および緊急時に機器や人員を保護するサーマルシャットダウンシステムも付属しています。全体として、Alpha 803SCは半導体ウェーハのための効果的で効率的な熱処理ツールです。調整可能なセットポイント温度と、パラメータを正確に制御する高精度コントローラを備えています。また、安全回路部品と異なるガスを処理するためのガス制御モジュールが付属しています。