中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SC #293622215 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SCは、低価格の集積回路（IC）ウェハを製造するために使用されるアクセサリを備えた拡散炉です。酸化プロセスや熱酸化プロセスなど、さまざまな拡散ニーズに対応するとともに、高精度なプロセス制御を実現します。803SC装置は、8インチのウェーハ供給モジュールとウェーハ処理システムで構成されています。ウェーハ供給モジュールには、高精度の水平炉室と、電源、避難ユニット、ガス分配機が内蔵されています。ガス分配ツールは、熱酸化のための適切な雰囲気を提供し、温度、圧力、および流れのために正確に調整可能です。このウェーハ処理アセットは、ガスボックスと非磁気絶縁モジュールの組み合わせ、ならびに回転アーム、X-Yウェーハプラットフォーム、RVトラックを使用して、シングルウェーハとバッチ処理の両方を可能にします。TEL Alpha 803SCは、炉室の出力を制御することにより、ウェーハに非常に均一な加熱を提供する電源を備えています。さらに、803SCには、熱酸化プロセスに不可欠な酸素の部分的な圧力を正確に制御できるガス供給モデルが含まれています。炉は均一な酸化を保障するために最も正確な温度調整を提供するように設計されています。耐熱耐火チャンバーと強制空冷装置は、チャンバー全体にわたって均一な温度プロファイルを維持します。803SCシステムには、安全動作を確保するためのさまざまな安全機能が装備されています。これには、温度チェック制御ユニット、酸素モニター/アラーム、真空モニター/アラーム、圧力安全弁が含まれます。これらのコンポーネントは、オペレータ、ウェーハ、およびチャンバーを予期しない発生時の損傷または誤動作から保護するように設計されています。さらに、耐食性に優れたステンレス鋼を使用しており、極端な温度や化学薬品に耐えることができます。803SCユニットにより、ユーザーは厳格なプロセス制御を維持し、一貫した高品質の結果を提供することができます。この803SCは、家電製品から自動車製品、医療機器まで、幅広い用途でのICの生産に適しています。