中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9290885 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803Dは、半導体産業のニーズに合わせて設計された先進的な拡散炉です。TEL Alpha 803Dは、最高の信頼性と最高のパフォーマンスと機能を提供するために構築されています。TOKYO ELECTRON Alpha 803Dはオールインワン拡散炉で、すべての必須部品を1つのユニットに組み込んでセットアップと操作を容易にします。Alpha 803Dは最大7つのウェーハを同時に収容でき、毎分30リットルのガス流量で最大800°Cの動作が可能です。拡散、酸化、窒化などの高精度な蒸着プロセスを可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803Dは、チャンバー全体に均等に分散された加熱のための正確な温度制御も提供します。さらに、TEL Alpha 803Dには、自動ポンプダウン機能を備えたガスシステムが内蔵されており、各成膜プロセスが完了した後に排気を制御します。TOKYO ELECTRON ALPHA 803Dには、安全性と効率的な運用を実現するさまざまな機能が搭載されています。それは潜在的に危険なガスから保護するチタン合金チャンバーと石英窓が含まれていますが、点火インターロックはドアが開いているときにオペレータが炉を動かすのを防ぎます。Alpha 803Dには、開始シーケンスを制御するセーフスタートタイマーも含まれています。その他の機能には、オープンシステムアーキテクチャとオンラインモニタリング機能があり、オペレータは遠隔地からプロセスを表示および制御できます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803Dには、大型アプリケーション生産用の自動カセットローダーとアンローダーが搭載されています。最後に、TEL Alpha 803Dは、RFプラズマソースやマスフローコントローラなどのさまざまなアクセサリと互換性があり、その機能をさらに強化します。TOKYO ELECTRON Alpha 803Dは、信頼性、性能、特徴により、半導体加工および成膜用途に最適です。そのアップグレードと包括的な安全システムは、あらゆる製造施設に必須です。