中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9287449 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803Dは、最新の半導体デバイス製造およびプロセス開発用に設計された最先端の拡散炉およびアクセサリーです。この製品ラインは、TELの拡散炉の範囲の一部であり、比類のない制御と性能を提供しています。TEL Alpha 803Dは、温度プロファイリング用のスマート熱電対入力コントローラと、プロセスの柔軟性に対応する強力なデジタル信号プロセッサを備えた、生産および開発用の汎用ツールです。この炉には、クローズドループのデジタル加熱ゾーン制御およびゾーン測定用の強力なPCベースのリアルタイムハードウェアおよびソフトウェア機器が装備されています。TOKYO ELECTRON ALPHA 803Dは、優れた安定性と均一な温度を特徴とする内部るつぼと外側ゾーンの2つの高性能抵抗加熱プロセスチャンバーを使用しています。外側ゾーンは、可変周波数モータによって駆動され、IDとOD、 PID/PIVと時間制御が含まれています。熱電対の入力コントローラは、オートチューニング、カーブ操作、リアルタイムフィードバックなど、5つの曲線で温度プロファイルを提供します。Alpha 803Dは、拡散、酸化、窒化、合金化、アニーリング、およびその他の半導体加工などの用途で信頼性の高い再現性のある結果を保証するように設計されています。最大1000°Cのプロセス温度範囲、± 2°Cの制御精度、± 3°Cの均一性を備えたこのシステムは、一貫した高品質のウェーハ結果を提供します。また、自動化されたプロセススケジュールを備えており、操作が容易であり、プロセス全体の詳細なフィードバックと分析を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803Dの特徴は、マルチガス配送ユニット、安全のためのオプションエア/ガスモニター、リーク検知機、高温CCDカメラモニター、サセプターなどです。このツールの優れた性能は、高級絶縁、漏れ防止、チャンバーシール技術によってさらに強化されています。要するに、TEL Alpha 803Dは、半導体デバイスの製造に優れた精度、信頼性、再現性を提供する高度な拡散炉です。マルチガス配送資産、自動化されたプロセススケジュール、温度プロファイリングおよび制御機能により、開発および生産アプリケーションにとって非常に貴重なツールとなります。